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四川一机M7163平面磨床售价和7163平面磨床受垂直入射光学系统的

时间:2020-08-10 10:33 来源:www.sichuanyiji.com 作者:四川M7163平面磨床价

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四川一机M7163平面磨床由于采用了新的干涉测量原理对7163平面磨床纳米级的衍射光栅安装公差就放得比较宽,例如7163平面磨床指示光栅和标尺光栅之间的间隙和平行度都很宽(表1所示)。7163平面磨床只有衍射光栅LIP372的栅距是0.512μm,同时,这也影响了四川一机M7163平面磨床售价。7163平面磨床经光学倍频后信号周期为0.128μm,四川一机M7163平面磨床其他栅距均为8μm和4μm,7163平面磨床经光学二倍频后得到的信号周期为4μm和2μm,7163平面磨床分辨力为5nm和50nm,系统准确度为±0.5μm和±1μm,速度为30m/min。7163平面磨床LIF系列栅距是8μm,分辨力0.1μm,四川一机M7163平面磨床准确度±1μm,速度为72m/min,同时,这也影响了四川一机M7163平面磨床售价。

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